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备受市场关注的半导体赛道又迎来一只多元化投资工具——半导体设备材料ETF（159516），该基金募集规模为13.45亿元，于7月27日正式登陆深交所。

半导体设备材料ETF聚焦于半导体制造中上游“卡脖子”的设备和材料环节， 也是当前自主可控最迫切、未来国产替代空间最大的细分领域。资料显示，该基金跟踪中证半导体材料设备主题指数（931743.CSI），共计40只成分股，覆盖了半导体设备中的光刻机、刻蚀机、薄膜沉淀设备、清洗设备，以及半导体材料中的硅片、电子特气、光刻机等细分行业龙头。

相比同类主题指数，半导体材料设备指数具备更强的盈利能力，Wind数据显示，2022年指数ROE（平均）为10.17%，国证芯片、中证全指半导体、芯片产业、中华半导体芯片ROE（平均）均不到10%；2021年、2020年，半导体材料设备指数ROE水平均处于几只可比半导体指数前列。

基于强劲的基本面，半导体材料设备指数近几年表现亦颇具竞争力，Wind数据显示，在2019年到2021年7月底这一轮波澜壮阔的半导体行情中涨超486%，大幅跑赢市场上主要同类指数。即使经历了近两年的调整，中证半导体材料设备主题指数自2019至今也还有237%以上的涨幅，同样优于同类。